MIRROR FACET FOR A SEGMENTED MIRROR,申请号AU20030205668-传众专利搜索

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发明名称	MIRROR FACET FOR A SEGMENTED MIRROR
摘要
申请公布号	AU2003205668(A1)	申请公布日期	2003.09.02
申请号	AU20030205668	申请日期	2003.01.24
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	FRANK MELZER
分类号	G02B5/09;G02B17/06;(IPC1-7):G02B5/08;G02B7/185;G02B7/198	主分类号	G02B5/09
代理机构		代理人
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