| 发明名称 |
COATING DEVICE AND COATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003244462(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.02 |
| 申请号 |
AU20030244462 |
申请日期 |
2003.02.03 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
GISHI CHUNG;MICHIO TANAKA |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C5/02;B05C9/14;B05C11/00;B05D1/26;B05D5/12;B05D7/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/288;H01L21/768;(IPC1-7):B05C11/08;B05C9/06;B05D3/00;H01L21/31 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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