| 主权项 |
1.一种晶圆夹紧机构,其至少包含;一连杆机构,至少包含:一第一连杆,具有一第一固设枢轴与该第一固设枢轴遥对的一第一浮动枢轴;一第二连杆,具有一第二固设枢轴与该第二固设枢轴杆遥对的一第二浮动枢轴;及一第三连杆,具有一第一耦合枢轴与第一浮动枢轴系可旋转地耦合,及具有一第二耦合枢轴与第二浮动枢轴系可旋转地耦合;及一晶圆接触点,耦合于该连杆机构,以使该连杆机构之动作造成该晶圆接触点接触一晶圆。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆夹紧机构,其中该第一及第二连杆为摇架连杆,系设置以在二限定位置间振荡。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆夹紧机构,其中该第三连杆机构系一浮动连杆。4.如申请专利范围第1项所述之晶圆夹紧机构,其中该连杆机构系一四连杆机构,更至少包含一支承连杆,系介于该第一固设枢轴及该第二固设枢轴之间。5.如申请专利范围第1项所述之晶圆夹紧机构,其中更包含耦合于一机器手臂之该末端的一腕部,其中该第一及第二固设枢轴系可旋转地锚固于该腕部。6.如申请专利范围第5项所述之晶圆夹紧机构,其中该腕部进一步耦合于一晶圆承载片。7.如申请专利范围第6项所述之晶圆夹紧机构,其中更包含一夹紧启动机构,当该机器手臂在一预定位置时启动该连杆机构。8.如申请专利范围第6项所述之晶圆夹紧机构,更至少包含一偏置机构耦合于该连杆机构,该偏置机构偏压该晶圆接触点朝向该晶承载片。9.如申请专利范围第8项所述之晶圆夹紧机构,其中该偏斜构件系耦合于该第二连杆。10.如申请专利范围第9项所述之晶圆夹紧机构,其中该夹紧启动机构使该晶圆接触点缩离该晶圆承载片,当该机器手臂系在其伸出位置时。11.如申请专利范围第6项所述之晶圆夹紧机构,其中该第三连杆包括一邻近该第二浮动枢轴之启动接触点,其中该启动接触点系设置以接触该夹紧启动机构。12.如申请专利范围第11项所述之晶圆夹紧机构,其中该启动接触点系一滚轮。13.如申请专利范围第12项所述之晶圆夹紧机构,其中该启动接触点系一至少部份为陶瓷之轴承。14.如申请专利范围第1项所述之晶圆夹紧机构,其中该第三连杆包括一部位系轴向延伸于该第一耦合枢轴上,而其中该接触点系耦合于该部位。15.如申请专利范围第1项所述之晶圆夹紧机构,其中该接触点系一滚轮。16.如申请专利范围第15项所述之晶圆夹紧机构,其中该滚轮包括一至少部份为陶瓷之轴承。17.如申请专利范围第1项所述之晶圆夹紧机构,更至少包含二连杆及二晶圆接触点。18.一种晶圆夹紧机构,其至少包含:一机器手臂;一腕部,位于邻近该机器手臂之末端;一晶圆承载片耦合于该腕部;及至少二四连杆机构耦合于该腕部,当机器手臂系在其缩回位置时,该四连杆夹紧机构自动夹紧一晶圆在该承载片上。图式简单说明:第1A图及1B图系先前技艺之腕组成的底视图及立体图;第1C图系另一先前技艺之腕组成的底视图;第1D图系再一先前技艺之晶圆夹持器的底视图;第2图系根据本发明具体实施例之晶圆夹紧机构(其上盖板已移除)的上视图;第3A及3B图系第2图中所示之晶圆夹紧机构的上视图(分别在一延伸位置及一缩回位置);第4图系第2图之连杆机构的一爆炸图;第5A及5B图分别为第2图中之腕部236的爆炸图及组合图;及第6图系根据本发明另一具体实施例之另一晶圆夹紧机构(其上盖板已移除)。 |
