发明名称 FOLDED LONGITUDINAL TORSIONAL HINGE FOR GIMBALED MEMS MIRROR HINGE
摘要 A circular mirror (12) is connected to the gimble (44) at opposing, but offset from center axis locations (36) and (37) and by compound longitudinal hinges (40) and (42).
申请公布号 WO03071331(A1) 申请公布日期 2003.08.28
申请号 WO2003US05167 申请日期 2003.02.18
申请人 GLIMMERGLASS NETWORKS, INC. 发明人 STAKER, BRYAN, P.;BANYAI, WILLIAM, C.
分类号 B81B3/00;G02B26/08;G02B26/10;(IPC1-7):G02B7/182 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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