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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PLASMA CVD
摘要
申请公布号 KR20030070128(A) 申请公布日期 2003.08.27
申请号 KR20037009681 申请日期 2003.07.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H05H1/46;B01J19/08;C23C16/509;H01J37/32;H01L31/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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