电容式差压检测器

摘要

电容式差压检测器，其固定电极的绝缘板(1)上覆盖有导电金膜(2)包括：中心孔(1a)的整个内部区域(2a)，将与导电板(12)相对的绝缘板平面上的中心孔(1a)围绕起来的正方形环形区域(2b)，以及自环形区域沿离心方向延伸至外边缘的带状区域(2c)。导电膜(2)在整个内部区域(2a)的端部和导电板之间及在带状区域(2c)的端部和铝膜之间是电导通的。减小了环形区域(2b)和带状区域(2c)的总面积，从而改善了静态压力范围特性。

主权项

1.一种根据隔板和各固定电极间的电容测量差压的电容式差压检测器，每个固定电极的形状和尺寸完全相同，固定电极通过间隔物以绝缘方式固定在所述隔板的两侧，有差压存在时，隔板产生变形，其特征在于：每一所述固定电极包括：一绝缘板，其具有穿过它的用于引入压力的第一通道且固定在相应的其中一个所述间隔物上，从而使所述绝缘板和所述隔板相对于所述间隔物相对置放；一导电板，其固定在所述绝缘板上，所述导电板和所述隔板面对，并由所述相应的间隔物与其隔开一间隙包绕，所述导电板上具有穿过它的用于引入压力的第二通道；导电膜，它整体沉积在所述绝缘板上，所述导电膜包括：覆盖所述第一压力引入通道的整个内部周向表面且在所述第一压力引入通道的一个端部和所述导电板电连接的一个第一部分；将所述第一压力引入通道的外端包绕起来的且形成于所述绝缘板的远离导电板的表面上的一个第二部分；自所述第二部分一直延伸至所述绝缘板的外边缘处、用于减小电容的一个第三部分，在此外边缘处，所述第三部分和用于引出电容的端子电连接。