一种低羟基石英管的生产方法

摘要

一种低羟基石英管的生产方法，将拉制好的石英管，置入密闭加热室内，先通过向外抽排空气使密闭加热室内部压力达5×10^-1-5×10^-4帕斯卡，然后将温度逐渐升至950-1250℃，保持恒温焙烧3-20小时，同时连续抽排空气使内气压稳定在5×10^-1-5×10^-4帕斯卡，经冷却，恢复常压，开室出管。由于采用了高温、高真空脱羟工艺，石英玻璃管内外形成了很大负压，使得二氧化硅晶格间的深层的羟基更易逸出，脱羟更加彻底，脱羟后石英管中羟基含量大幅度降低。

主权项

1、一种低羟基石英管的生产方法，将拉制好的石英管，置入密闭加热室内，进行高温焙烧，其特征在于：在高温焙烧之前，先通过向外抽排空气使密闭加热室内部压力达5×10-1—5×10-4帕斯卡，然后将温度逐渐升至950-1250℃，保持恒温焙烧3-20小时，同时连续抽排空气使密闭加热室内气压稳定在5×10-1-5×10-4帕斯卡，在高温焙烧之后，经冷却，恢复常压，开室出管。