发明名称 STRUCTURE AND PROCESS FOR VERTICAL TRANSISTOR TRENCH CAPACITOR DRAM CELL
摘要
申请公布号 KR20030069801(A) 申请公布日期 2003.08.27
申请号 KR20027017576 申请日期 2001.06.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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