沉积金属和金属氧化物膜以及图案薄膜的方法

摘要

本发明涉及不含光刻胶的由金属配合物沉积金属，如铜，或其氧化物膜的方法。更具体地，该方法包含将金属配合物的非晶膜涂敷在衬底上。该金属配合物具有通式M_fL_gX_h，其中，M选自Ti、V、Cr、Au、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Si、Sn、Li、Na、K、Ba、Sr、Mo、Ru、Pd、Pt、Re、Ir和Os；L是如通式(R₂NCR₂'CO)的配位体，其中R，R’均独立选自H、C_nH_m和C_nH_mA_xB_y，其中A和B均独立选自主族元素；f、g、h、n、m、x和y代表整数；X是阴离子并独立选自N₃、NCO、NO₃、NO₂、Cl、Br、I、CN、OH、H、CH₃。通过例如热、光化学或电子束的辐射，这些膜可转化成金属或其氧化物。利用直射光或电子束，通过一步即可形成带图案的金属或金属氧化物膜。

主权项

1.一种在衬底上制备含金属材料的图案薄膜的方法，包括：a).将通式为MfLgXh的金属前体配合物的非晶膜涂敷在衬底上，其中，M选自Ti、V、Cr、Au、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Si、Sn、Li、Na、K、Ba、Sr、Mo、Ru、Pd、Pt、Re、Ir和Os；L是如通式(R2NCR2’CO)的配位体，其中R，R’均独立选自H、CnHm和CnHmAxBy，其中A和B均独立选自主族元素；f、g、h、n、m、x和y代表整数；X是阴离子并独立选自N3、NCO、NO3、NO2、Cl、Br、I、CN、OH、H、CH3；和b).辐射所述非晶膜以使所述金属配合物进行反应，该反应将所述金属配合物转化成粘合在所述衬底上的含金属材料。