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发明名称 GAS FLOW PURIFICATION SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 SG97972(A1) 申请公布日期 2003.08.20
申请号 SG20000006603 申请日期 2000.11.14
申请人 MYKROLIS CORPORATION 发明人 CHRIST A. TSOURIDES
分类号 B01D46/00;B01D53/22;H01L21/205;(IPC1-7):B01D53/22 主分类号 B01D46/00
代理机构 代理人
主权项
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