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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitenden ZnO enthaltende Schichten auf einem Substrat
摘要
申请公布号 DE59808946(D1) 申请公布日期 2003.08.14
申请号 DE19985008946 申请日期 1998.03.27
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SPANHEL, DR.RER.NAT.;HILGENDORFF, DIP.-CHEM.;MUELLER, PROF. DR.
分类号 C23C18/12;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
主权项
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