| 主权项 |
1.一种晶圆盒自动载入及开启装置,用以载入及启闭一晶圆盒之一盒盖,该装置至少包括:一机台,设有一背板,分别于该背板中段固设一置物台,并于该背板之上方开设有一出入阜;一移动台,滑设于该置物台上方,以一滑移机构朝向该出入阜方向趋近或远离,该滑移机构系设置于该移动台下方;一弹扣机构,组设于该移动台下方,该弹扣机构包括一碰触块与该移动台之背面耦接,以及一扣勾系枢架于该置物台之末端,其远离碰触块之末端的背面系连接一弹力装置,当该碰触块向前移动并压下所接近之该扣勾末端时,该扣勾将伸起并穿过该移动台之长孔而扣勾住该晶圆盒;一启闭机构,其包括:一阜门,对应于该背板出入阜大小并恰可容置于该出入阜内,且该阜门二侧分别开设有贯孔;至少一支撑架,因设于该阜门背面,并向下延伸一支撑臂;以及一连动组,组设于该阜门背面,包含有一第一伸缩动力源与一连杆机构;以及一倾斜升降机构,包括固设于该置物台之背面的一第二伸缩动力源与一移位板,该移位板主底边系以了旋转的方式枢设于该底座上,该第二伸缩动力源之一驱动杆系连结之该移位板之正面,该移位板包括有一垂直轨道与滑设于其上之一滑块,该滑块连结于该支撑臂并可受一第三动力源之驱动而上下移动。2.如申请专利范围第1项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之启闭机构的连动组另包含有两停止栓设于该阜门上,用以控制该连动组之摆动。3.如申请专利范围第1项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之滑移机构包括至少两平行滑轨分别设于该移动台下方左右侧下方,与两滑块固设于该移动台背面并滑设于该两滑轨。4.如申请专利范围第1项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之连杆机构形成一ㄇ字形之三连杆。5.如申请专利范围第4项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之三连杆其中左右面连杆相互平行并分别利用一旋转栓枢设于该阜门背面,另一连杆则与该第一伸缩动力源相互平行,该旋转栓分别穿过该阜门之二贯孔,以穿过该晶圆盒之盒盖上之相对应孔洞,该第一伸缩动力源之一驱动杆系连结于该连杆组之一端以摆动该连杆组并连动使该等旋转栓旋转。6.如申请专利范围第1项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之弹力装置系为一弹簧。7.如申请专利范围第1项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之背板出入阜前面周缘设有密封垫。8.如申请专利范围第1项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之各动力源可为一伸缩气压源。9.如申请专利范围第1项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之各动力源可为一油压源。10.如申请专利范围第1项的晶圆盒自动载入及开启装置,其中上述之各动力源可为一电动马达。图式简单说明:第1图系本创作实施例的外观立体图。第2图系本创作实施例的正视剖面图。第3图系本创作实施例之弹扣机构的作动图。第4图系本创作实施例之启闭机构的立体图。第5图系本创作实施例之启闭机构之连动组的作动图。第6图系本创作实施例之倾斜升降机构上下动作侧视图。第7图系本创作实施例之倾斜升降机构倾斜动作示意图。 |
