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发明名称 SMART LASER WITH FAST DEFORMABLE GRATING
摘要
申请公布号 EP1330859(A1) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 EP20010273238 申请日期 2001.10.05
申请人 CYMER, INC. 发明人 FOMENKOV, IGOR, V.;ERIE, FREDERICK, G.;BUCK, JESSE, D.;DAS, PALASH, P.
分类号 H01S3/225;G02B5/18;G02B27/44;G03F7/20;H01S3/03;H01S3/034;H01S3/08;H01S3/081;H01S3/086;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/137;H01S3/139;(IPC1-7):H01S3/08;H01S3/10 主分类号 H01S3/225
代理机构 代理人
主权项
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