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发明名称 ANODE WITH POROUS INSULATING LAYER FOR DISCHARGE LASERS
摘要
申请公布号 EP1330860(A1) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 EP20010983106 申请日期 2001.10.08
申请人 CYMER, INC. 发明人 MORTON, RICHARD, G.
分类号 H01S3/03;G03F7/20;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/041;H01S3/097;H01S3/0979;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/225 主分类号 H01S3/03
代理机构 代理人
主权项
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