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发明名称 ANNEALED COPPER ALLOY ELECTRODES FOR FLUORINE CONTAINING GAS DISCHARGE LASERS
摘要
申请公布号 EP1330861(A1) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 EP20010983929 申请日期 2001.10.05
申请人 CYMER, INC. 发明人 MORTON, RICHARD, G.
分类号 G03F7/20;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/041;H01S3/0979;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/22;H01S3/03;H01S3/097 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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