空气支承滑动器与支撑臂组合

摘要

一种空气支承滑动器与支撑臂组合包括一空气支承滑动器及一支撑臂，其中该滑动器包括一个具削减部分的安装部；该支撑臂包括一负载梁、一弯曲部及支撑弯曲部的第一及第二负载梁环绕部，该弯曲部包括一安装板，其中该安装板具有一凹凸周边结构，该第一及第二负载梁环绕部还分别形成有蚀刻区。蚀刻形成支撑臂及磨削形成削减型滑动器的工艺简单，易操作，使工艺尺寸设计范围更大，且不需更换现有技术中的机械设备，节约资金投入，并可得到所需的刚度范围。

主权项

1.一种空气支承滑动器与支撑臂组合，滑动器包括两相对侧壁、一空气支承部及一安装部，安装部包括一粘合面及一削减部，削减部与一侧壁相交；支撑臂用于支撑该滑动器，其包括一负载梁及与负载梁一体成型的弯曲部，该负载梁包括第一负载梁环绕部及第二负载梁环绕部，该弯曲部包括一安装板及一环形万向节，支撑臂的安装板具有一凹凸周边结构，该滑动器通过其粘合面与安装板的结合与支撑臂装在一起，其特征在于：该第一负载梁环绕部及第二负载梁环绕部分别具有一蚀刻区，第一及第二负载梁环绕部与滑动器的相覆盖部分落入该蚀刻区。