发明名称 HIGH CONDUCTIVITY TRANSPARENT CONDUCTOR FORMED USING PULSED ENERGY PROCESS
摘要 <p>L'invention concerne un procédé de création d'une couche transparente hautement conductrice sur un substrat sans soumission du substrat à des températures élevées. Une énergie laser pulsée de longueur d'onde et de fluence énergétique se situant dans une gamme sélectionnée est utilisée en vue de cristalliser un matériau amorphe sélectionné au moyen d'une faible quantité d'impulsion (idéalement seulement une) afin de former des films fins hautement électriquement conducteurs qui sont optiquement transparents à des longueurs d'onde visibles. Ce procédé ne soumet pas le substrat à des températures supérieures soutenues. Il peut être utile dans des procédés de fabrication dans lesquels le substrat est composé d'un matériau (tel que du verre, par exemple) lui-même tolérant à la chaleur, mais qui au moment de la création de la couche conductrice consiste en une partie d'une structure contenant un matériau ne résistant pas à des températures élevées, tel que du plastique ou d'autres polymères à basse température. Une barrière thermique constituée d'un oxyde, d'un nitrure, ou d'un matériau polymère peut être déposée sur le substrat avant le matériau précurseur afin de favoriser l'isolation du substrat des effets thermiques de l'énergie dirigée au niveau du matériau précurseur.</p>
申请公布号 WO2003059532(A1) 申请公布日期 2003.07.24
申请号 US2003000871 申请日期 2003.01.10
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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