发明名称 Method for fabricating a capacitor utilizing hemispherical grain silicon
摘要
申请公布号 GB2341725(B) 申请公布日期 2003.07.23
申请号 GB19990009306 申请日期 1999.04.22
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS COMPANY LIMITED 发明人 KYUNG-HOON * KIM;SUNG-TAE * KIM
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/320 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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