发明名称 | 基板收纳箱 | ||
摘要 | 一种基板收纳箱,可以缩小基板收纳间距并使基板收纳箱小型化和轻量化。基板收纳箱1备有形成了支持靠近基板100的中心位置的向上凸部53的基板支承物5,在由机械手等搬运机构200进行基板100的出入的基板收纳箱1中,把基板支承物5的形状做成摹仿搬运机构200从下方支持基板100时基板100产生的挠曲的形状。 | ||
申请公布号 | CN1428279A | 申请公布日期 | 2003.07.09 |
申请号 | CN02158466.4 | 申请日期 | 2002.12.26 |
申请人 | 株式会社爱科技 | 发明人 | 木全一夫;中森孝雄;加藤克彦;中野清憲 |
分类号 | B65D85/48;B65D61/00;B65G49/06 | 主分类号 | B65D85/48 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 何腾云 |
主权项 | 1.一种基板收纳箱,该基板收纳箱备有形成了支持靠近基板中心位置的向上凸部的基板支承物,由机械手等搬运机构进行基板的出入,其特征在于,把上述基板支承物的形状做成摹仿上述搬运机构从下方支持基板时基板产生的挠曲形状。 | ||
地址 | 日本爱知县 |