| 发明名称 |
DATA-CONVERSION METHOD FOR A MULTIBEAM LASER WRITER FOR VERY COMPLEX MICROLITHOGRAPHIC PATTERNS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1012783(B1) |
申请公布日期 |
2003.06.18 |
| 申请号 |
EP19980908378 |
申请日期 |
1998.02.26 |
| 申请人 |
MICRONIC LASER SYSTEMS AB |
发明人 |
THUR N, ANDERS |
| 分类号 |
G03F7/20;G06K15/12;H01L21/027;H01L21/768;H04N1/113;(IPC1-7):G06K15/12 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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