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Die Erfindung betrifft einen Korrektor von energieabhängigen Aberrationen erster Ordnung, ersten Grades sowie des Öffnungsfehlers dritter Ordnung von elektronenoptischen Linsensystemen. Der Korrektor enthält mindestens ein Quadrupol-Septuplet (S1) mit sieben Quadrupolen (Q1-Q7), wobei die Quadrupole symmetrisch zu einer Mittelebene (ZS) entlang einer geraden Achse erregbar angeordnet sind. Der Korrektor enthält weiterhin mindestens fünf innerhalb des Quadrupol-Septuplets erregbare Oktupole (O1-O7). DOLLAR A Bei einer vorteilhaften Ausführungsform sind zwei Quadrupol-Septuplets seriell hintereinander angeordnet, wobei die Quadrupolfelder der beiden Quadrupol-Septuplets antisymmetrisch zu einer zwischen beiden Quadrupol-Septuplets liegenden Mittelebene erregt sind. Mit einem solchen System können neben den axialen und außeraxialen Farbfehlern erster Ordnung und ersten Grades sämtliche geometrische Aberrationen dritter Ordnung und weitere energieabhängige Abberrationen erster Ordnung, dritten Grades und geometrische Aberrationen fünfter Ordnung eines Linsensystems korrigiert werden.
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