| 发明名称 |
SONIC TRANSDUCERS BONDED WITH POLYMERS AND METHODS OF MAKING SAME FOR EFFICIENT SONIC ENERGY TRANSFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002352784(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.10 |
| 申请号 |
AU20020352784 |
申请日期 |
2002.11.19 |
| 申请人 |
MATTSON TECHNOLOGY IP |
发明人 |
MICHAEL, JOSEPH HOLLWECK;DOUGLAS, A. GOTTSCHALK |
| 分类号 |
B08B3/12;G10K11/00;H01L21/00 |
主分类号 |
B08B3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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