高精度X射线粘料定向仪

摘要

本实用新型涉及的是依据X射线衍射原理来完成晶棒高精度粘结的光机电一体化的精密定向仪，该定向仪包括X射线管、测晶平台、计数器、放大器、数显器、测量光路和设置于测晶平台上用于粘结晶棒的粘料机构，其测量光路为X射线管发出的X射线经单色器、以大R面为检测面的被测晶棒至计数器构成，粘料机构包括平台上的托板、滑板和滑板上的料板定位机构，滑板与托板之间通过精密导轨滑动配合，滑板的料板定位机构中设有电磁铁。本技术具有晶棒粘板精度高、便于操作、测量工作效率高的优点，并可使操作误差降至最低。

主权项

1、一种高精度X射线粘料定向仪，其结构组成包括X射线管(1)、测晶平台(15)、计数器(4)、放大器、数显器(5)及支持它们工作的电气机构和由X射线管至计数器的测定晶体材料内部晶面角的测量光路，还包括有设置于测晶平台上用于粘结晶棒的粘料机构，其特征在于测量光路为由X射线管(1)发出的X射线经单色器(2)、以大R面为检测面的被测晶棒(3)至计数器(4)构成，粘料机构包括平台上的托板(9)、滑板(14)和滑板上的料板定位机构，托板(9)上固定设有横跨滑板(14)之上的横梁(16)，横梁上设有晶棒大R面的定位顶针(6)和微调晶棒角的微调器(13)，滑板与托板之间设有精密导轨(10)，滑板的料板定位机构设有电磁铁。