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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Silizium-Halbleiterplättchen
摘要
申请公布号 DE69431385(T2) 申请公布日期 2003.05.15
申请号 DE1994631385T 申请日期 1994.07.20
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 KUBOTA, ATSUKO;KOJIMA, MASAKATSU;TSUCHIYA, NORIHIKO;SAMATA, SHUICHI;MASANORI NUMANO, YOKOHAMA-SHI;UENO, YOSHIHIRO
分类号 H01L21/304;C30B15/00;C30B33/00;H01L21/322;H01L21/332;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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