| 发明名称 |
Chemically adsorbed film, method of manufacturing the same, and chemical adsorption solution used for the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0826430(B1) |
申请公布日期 |
2003.05.02 |
| 申请号 |
EP19970306495 |
申请日期 |
1997.08.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
OGAWA, KAZUFUMI |
| 分类号 |
B05D1/18;(IPC1-7):B05D1/18 |
主分类号 |
B05D1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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