发明名称 BEARBEITUNGSFLÜSSIGKEIT UND VERFAHREN ZUR MODIFIKATION VON STRUTURIERTEN HALBLEITERSCHEIBEN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERN
摘要
申请公布号 DE69906155(D1) 申请公布日期 2003.04.24
申请号 DE19996006155 申请日期 1999.06.08
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES CO., SAINT PAUL 发明人 HARDY, CHARLES;TRICE, L.
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):C09K3/14 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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