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发明名称 Volatile precursors for deposition of metals and metal-containing films
摘要
申请公布号 EP1142894(A3) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP20010108053 申请日期 2001.03.29
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 MORMAN, JOHN, ANTHONY, THOMAS;ROBERTS, DAVID, ALLEN;FARNIA, MORTEZA
分类号 C07F1/00;C07F1/08;C07F5/02;C07F7/10;C07F19/00;C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C07F1/00;C07F15/00;C23C16/00 主分类号 C07F1/00
代理机构 代理人
主权项
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