| 发明名称 |
Apparatus and method for continuous delivery and conditioning of a polishing slurry |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1043122(A3) |
申请公布日期 |
2003.04.16 |
| 申请号 |
EP20000302562 |
申请日期 |
2000.03.28 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
OBENG, YAW S.;SCHULTZ, LAURENCE D. |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B57/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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