| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un procédé et un appareil de balayage de précision par faisceau laser adaptés à l'usinage ou au nettoyage de précision effectué au moyen d'un faisceau laser à impulsions ultracourtes. L'appareil utilise une source laser qui émet un faisceau laser à impulsions, un dispositif de balayage à compensation de la dispersion qui balaie le faisceau laser à impulsions et une unité de focalisation qui focalise, sur une pièce à travailler, le faisceau laser à impulsions à sa sortie du dispositif de balayage à compensation de la dispersion. Le dispositif de balayage à compensation de la dispersion comprend un premier dispositif de balayage qui balaie le faisceau laser à impulsions dans une première direction et qui provoque la dispersion du faisceau laser à impulsions. Le dispositif de balayage à compensation de la dispersion comprend également un premier dispositif de compensation de la dispersion qui compense la dispersion provoquée par le premier dispositif de balayage. Les effets de polarisation du faisceau laser à impulsions ultracourtes sur la qualité de l'usinage sont décrits, ainsi que les utilisations de la présente invention dans le cadre de la fabrication directe de masques photolithographiques et du nettoyage de pièces à travailler.</p> |
