| 发明名称 | 采用平面薄膜电极的静电吸盘 | ||
| 摘要 | 静电吸盘具有基本上平面的薄膜电极，该电极与静电吸盘的吸盘表面相平行，静电吸盘是在烧结陶瓷基板表面上采用沉积薄膜电极的方法，最好是采用丝网印刷电极的方法制成。新的陶瓷层制成或烧铸在薄膜电极上，随后烧结合成的结构，从而制成静电吸盘。 | ||
| 申请公布号 | CN1409871A | 申请公布日期 | 2003.04.09 |
| 申请号 | CN00816969.1 | 申请日期 | 2000.12.05 |
| 申请人 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 发明人 | R·迪瓦卡尔;M·赞迪 |
| 分类号 | H01L21/68 | 主分类号 | H01L21/68 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 李家麟 |
| 主权项 | 1.一种静电吸盘包括：a)具有吸盘表面的吸盘主体；b)嵌入在吸盘主体中的薄膜电极；和c)在薄膜电极和吸盘表面之间具有基本均匀厚度的电介质层。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||