| 发明名称 |
SOLUTION OF TETRAMETHYL AMMONIUM HYDROXIDE IN WATER, PROCESS FOR PREPARING THE SOLUTION AND USE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1051666(B1) |
申请公布日期 |
2003.04.09 |
| 申请号 |
EP19980966536 |
申请日期 |
1998.12.11 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
GEYER, STEFAN;HORN, MICHAEL |
| 分类号 |
G03F7/32;(IPC1-7):G03F7/32 |
主分类号 |
G03F7/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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