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发明名称
PERFLUOROALKYLSULFONIC ACID COMPOUNDS FOR PHOTORESISTS
摘要
申请公布号
EP1299774(A1)
申请公布日期
2003.04.09
申请号
EP20020725542
申请日期
2002.04.05
申请人
ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC.
发明人
FERREIRA, LAWRENCE;BLAKENEY, ANDREW, J.;SPAZIANO, GREGORY, DOMINIC;DIMOV, OGNIAN;KOCAB, THOMAS, J.;HATFIELD, JOHN, P.
分类号
C07C309/10;C07C321/28;C07C323/20;C07C381/12;C07D207/40;C07D209/94;C07D333/46;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004;C07C303/00;C07C309/01;C07C309/02;C07C309/06;C07C309/63
主分类号
C07C309/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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