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<p>Es wird beschrieben, wie eine zu inspizierende Objektoberfläche mittels einer Abstandsregelung zu einer Messoptik planparallel zu einer Fokusebene der Messoptik ausgerichtet wird, so dass bei der Inspektion von ausgedehnten Objektoberflächen hohe Inspektionsgeschwindigkeiten erzielbar ist. Unter Einsatz eines einem Messkopf nebengeschalteten Abstandsmesssystems lassen sich Schwankungen innerhalb der Topografie innerhalb der Objektoberfläche derart ausgleichen, dass der aktuell aufgenommene Punkt oder Bereich optisch scharf gestellt werden kann.</p> |
