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发明名称 Method of forming conducting diffusion barriers
摘要
申请公布号 EP1134802(A3) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 EP20010302248 申请日期 2001.03.12
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 MA, YANJUN
分类号 C23C16/34;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L23/532 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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