| 发明名称 |
A carrier head with a substrate sensor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1048407(A3) |
申请公布日期 |
2003.04.02 |
| 申请号 |
EP20000303396 |
申请日期 |
2000.04.20 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
ZUNIGA, STEVEN;TSENG, MING KUEI |
| 分类号 |
B24B49/00;H01L21/304;H01L21/68;(IPC1-7):B24B37/04;B24B41/06;B24B47/22;H01L21/00 |
主分类号 |
B24B49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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