| 发明名称 |
Projectiebelichtingssysteem. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL194951(B) |
申请公布日期 |
2003.04.01 |
| 申请号 |
NL19930001972 |
申请日期 |
1993.11.16 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
HO-YOUNG KANG |
| 分类号 |
H01L21/30;G02B3/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/18 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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