首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 Plasma processing apparatus with coil magnet system
摘要
申请公布号 AU2002341591(A1) 申请公布日期 2003.04.01
申请号 AU20020341591 申请日期 2002.09.04
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 ANDREJ S. MITROVIC
分类号 H05H1/46;B08B7/00;C23C14/35;C23F1/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com