发明名称 Verfahren und System zur Reinigung und Dampftrocknung von Wafern
摘要
申请公布号 DE19983631(T1) 申请公布日期 2003.03.27
申请号 DE1999183631T 申请日期 1999.09.28
申请人 SCP GLOBAL TECHNOLOGIES,INC. 发明人 TAMER, ELSAWY;HALL, R. MARK;BUTLER, JOSH
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;F26B21/14 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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