| 发明名称 | 照明装置及应用该照明装置的曝光装置和器件制造方法 | ||
| 摘要 | 照明装置，包括：第一光积分器，它包括具有与光轴垂直且由多个第一边界定的第一光学件，此第一光积分器均匀地照明—被照面；第二光积分器，它用于均匀地照明此第一光积分器，以使光入射到此第一光积分器上照明此第一光积分器的光入射面照明范围轮廓包括的多个第二边中之各边都不与上述第一边的任一相平行。 | ||
| 申请公布号 | CN1405633A | 申请公布日期 | 2003.03.26 |
| 申请号 | CN02143157.4 | 申请日期 | 2002.09.13 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 森坚一郎 |
| 分类号 | G03F7/20;G02B3/00 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 杜日新 |
| 主权项 | 1.一种照明装置，包括：第一光积分器，它包括的第一光学件具有与光轴垂直且由多个第一边定出的剖面，此第一光积分器均匀地照明被照面；第二光积分器，用于均匀地照明上述第一光积器，使得入射到第一光积分器上的光照明范围的轮廓照明上述第一光积分器的光入射面，此第二光积分器包括多个第二边而每个第二边都不与任何前述第一边平行。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||