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发明名称 Doppelseitenpoliermaschine und Doppelseitenschleifmaschine
摘要
申请公布号 DE69905207(D1) 申请公布日期 2003.03.13
申请号 DE19996005207 申请日期 1999.02.25
申请人 SUPER SILICON CRYSTAL RESEARCH INSTITUTE CORP., ANNAKA;SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 发明人 ABE, KOHZO;ISOBE, SHO;TOMITA, YOSHIYUKI;HARA, KAZUTOSHI;MASAKI, RYUZO;IWASE, AKIO;NAGATA, HIROSHI
分类号 B23Q1/26;B23Q1/70;B24B7/17;B24B41/02;(IPC1-7):B24B7/17 主分类号 B23Q1/26
代理机构 代理人
主权项
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