灰调掩模的缺陷检查方法及缺陷检查装置

摘要

本发明提供一种针对具有遮光部、透射部和灰调部的灰调掩模，可以实现一次检查的缺陷检查方法及缺陷检查装置。采用通过互相比较掩模内形成的同一图形来检测缺陷的比较检查方法，作为根据图形的不同而出现的信息的阈值，除了设有普通的遮光部及透射部的缺陷抽出阈值之外，还新设灰调部专用的缺陷抽出阈值，并且识别正在检查遮光部及透射部、灰调部中哪个区域，正在检查遮光部或透射部时，使用遮光部、透射部用缺陷抽出阈值进行普通缺陷的检查，正在检查灰调部时，使用灰调部专用的缺陷抽出阈值进行灰调部的缺陷检查。

主权项

1.一种缺陷检查方法，用来检查具有遮光部、透射部和灰调部的灰调掩模的缺陷，该灰调部是调整透射量的区域，其目的是减少透射过该区域的光的透射量而可选地改变光敏抗蚀剂的厚度，其特征在于，识别形成遮光部及透射部的区域和形成灰调部的区域，用适合各区域的缺陷检查装置对各区域进行检查。