| 发明名称 |
METHOD FOR CREATING AN INTEGRATED CIRCUIT STAGE WHEREIN FINE AND LARGE PATTERNS COEXIST |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1290498(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.12 |
| 申请号 |
EP20010945431 |
申请日期 |
2001.06.14 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DELEONIBUS, SIMON |
| 分类号 |
G03F7/26;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/8234;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
