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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING DRAM TRENCH CAPACITOR COLLARS
摘要
申请公布号 EP1287556(A2) 申请公布日期 2003.03.05
申请号 EP20010939865 申请日期 2001.06.01
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 NESBIT, LARRY;MCSTAY, IRENE, LENNOX;RADENS, CARL;TEWS, HELMUT HORST;DIVAKARUNI, RAMA;MANDELMAN, JACK
分类号 H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
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