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发明名称 Improved precursors for the metalorganic chemical vapour deposition of group IVB metal oxide thin films
摘要
申请公布号 GB0301886(D0) 申请公布日期 2003.02.26
申请号 GB20030001886 申请日期 2003.01.28
申请人 EPICHEM LIMITED 发明人
分类号 C07C239/10;C23C16/40 主分类号 C07C239/10
代理机构 代理人
主权项
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