发明名称 多层物体调温处理的装置和方法和多层物体
摘要 推荐了通过输入具有调温处理率为至少1℃/s的能量用于大面积多层物体调温处理的方法。为了抑制在调温处理期间的温度不均匀性将能量不同的部分能量输入给具有局部分辨率和时间分辨率的多层物体的层。将多层物体在一个容器中进行调温处理,容器有玻璃陶瓷的底板和盖子。将本方法使用在制造薄膜太阳能电池上。
申请公布号 CN1399798A 申请公布日期 2003.02.26
申请号 CN00813743.9 申请日期 2000.07.31
申请人 西门子公司 发明人 V·普罗布斯特
分类号 H01L31/18;H01L31/032 主分类号 H01L31/18
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 郑立柱;张志醒
主权项 1.多层物体(1)的调温处理装置,多层物体有一个第一层(2,3,4)和至少有一个第二层(2,3,4),通过第一层(2,3,4)接受第一个部分能量和通过第二层(2,3,4)接受第二个部分能量的多层物体(1)接受能量,具有-能量的至少一个能源(7,11),其特征为,-存在第一个和至少第二个能源,-至少一个能源(7,11)发射具有辐射场(9,15)的一定的电磁辐射(13),-至少一个层(2,4)对于电磁辐射(8,13)有一定的吸收,-将第一个能源(7)和第二层(4)之间的第一层(2)和第二个能源(11)和第一层(2)之间的第二层(4)可以这样安排,对于电磁辐射(8,13)具有吸收的层(2,4)位于辐射场(9,15)中,和-在辐射场(9,15)中在具有辐射场(9,15)的能源(7,11)和对于电磁辐射(8,13)有一个吸收的层(2,4)之间至少安排了一个透明物体(5,12),这个对于电磁辐射(8,13)有一定的透射和一定的吸收。
地址 德国慕尼黑