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发明名称 Targetkühlung mit Wanne
摘要
申请公布号 DE4301516(C2) 申请公布日期 2003.02.13
申请号 DE19934301516 申请日期 1993.01.21
申请人 APPLIED FILMS GMBH & CO. KG 发明人 SCHUMACHER, MANFRED;SCHILLING, HELMUT;JOOS, GERHARD
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;H05H1/46;H01J37/02 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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