发明名称 TESTING VIAS AND CONTACTS IN INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION
摘要 <p>L'invention concerne un système de vérification conçu pour vérifier si, dans une chaîne de trous de liaison ou de contacts, l'un des trous de liaison ou l'un des contacts présente une résistance anormalement élevée. Le système contient plusieurs chaînes (161-164) de contacts ou de trous de liaison et plusieurs décodeurs (166-169). Les chaînes sont connectées de manière commutable à un dispositif de mesure de résistance. Chaque décodeur est doté d'une adresse unique, de telle sorte qu'il pourra produire un signal de commande lorsque une adresse prédéterminée est sollicitée. Le signal de commande est utilisé pour fermer un commutateur qui relie l'une des chaînes au dispositif de mesure de résistance. L'application séquentielle de différentes adresses aux décodeurs permet de mesurer individuellement la résistance des chaînes.</p>
申请公布号 WO2003012857(A1) 申请公布日期 2003.02.13
申请号 US2002023838 申请日期 2002.07.26
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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