Double side grinding apparatus and double side polishing apparatus,申请号EP19990102802-传众专利搜索

发明名称	Double side grinding apparatus and double side polishing apparatus
摘要
申请公布号	EP0940220(B1)	申请公布日期	2003.02.05
申请号	EP19990102802	申请日期	1999.02.25
申请人	SUPER SILICON CRYSTAL RESEARCH INSTITUTE CORP.;SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.	发明人	ABE, KOHZO;ISOBE, SHO;TOMITA, YOSHIYUKI;HARA, KAZUTOSHI;MASAKI, RYUZO;IWASE, AKIO;NAGATA, HIROSHI
分类号	B23Q1/70;B23Q1/26;B24B7/17;B24B41/02;(IPC1-7):B24B7/17	主分类号	B23Q1/70
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