| 发明名称 |
Ion beam processing method and apparatus therefor |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB0230209(D0) |
申请公布日期 |
2003.02.05 |
| 申请号 |
GB20020030209 |
申请日期 |
2002.12.27 |
| 申请人 |
SUMITOMO EATON NOVA CORPORATION |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/317;H01J49/30;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
