发明名称 POLIERMITTEL FÜR HALBLEITERSUBSTRATE
摘要
申请公布号 DE59806748(D1) 申请公布日期 2003.01.30
申请号 DE19985006748 申请日期 1998.07.21
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BRADL, STEPHAN;HEITZSCH, OLAF
分类号 C09G1/02;C09K3/14;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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